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兩種規(guī)格型號的等離子體光譜儀有哪些特點

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等離子體發(fā)射光譜研究是了解放電條件下氣體狀態(tài)的有效手段和用于無干擾診斷等離子體狀態(tài)參數(shù)的方法。它為研究不同實驗參數(shù)下的等離子體行為提供了一種很好的方法。通過采集射頻磁控濺射過程中等離子體發(fā)射光譜,可以計算出電子密度和電子溫度,并且能夠分析濺射功率、工作壓強等實驗參數(shù)對等離子體狀態(tài)的影響。


AvaSpec Multi-channel系列等離子體光譜儀基于Avantes公司的AvaBench-75光學平臺,采用模塊化設計,可以配置成單通道、雙通道、四通道或多通道(可達10個通道)。每個通道可以設置不同的積分時間或信號平均次數(shù),且各通道同步采集。等離子體光譜儀有兩種規(guī)格型號,AvaSpec-ULS2048-x-USB2和AvaSpec-ULS3648-x-USB2(x代表通道數(shù))。
 
AvaSpec-ULS2048光譜儀在接受外觸發(fā)信號之后僅延遲1.3微秒就開始采樣。此外,該光譜儀也可以發(fā)出TTL信號來觸發(fā)脈沖激光器或脈沖光源,并可設置開始采樣的時間延遲(-20ns至89sec,步長21ns)。適用于需要快速響應或時序控制的應用(時間抖動±21ns)。AvaSpec-ULS3648光譜儀CCD像素數(shù)多,分辨率比AvaSpec-ULS2048光譜儀提高了約30%,但靈敏度降低了50%。
 
  的AvaSpec-USB3.0平臺為多通道的應用提供了塊化。每個通道可以設置不同的積分時間或信號平均次數(shù),而且可以各個通道同步地開始掃描。并可以通過*的Store to RAM功能實現(xiàn)多通道高速同步測量,采樣頻率可達900幅/秒。此外,每個通道都可以選用不同類型的探測器,覆蓋很寬的波長范圍,實現(xiàn)高分辨率的測量。
 

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