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使用反射型光纖探頭在線監(jiān)測鍍膜生產(chǎn)過程

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在鍍膜過程中需要對一些重要參數(shù)進(jìn)行監(jiān)控,如膜層厚度、成分、表面光潔度、光透射率、反射系數(shù)、偏振特性等,都可以利用光譜學(xué)和雙光束干涉的方法進(jìn)行測量。光纖的使用為監(jiān)控過程提供了靈活的工具,可以使光方便地進(jìn)入或?qū)С鲞h(yuǎn)方的真空超凈室,而且可以同時(shí)為膜層分析提供多個(gè)幾何量的測量選擇。膜層的照明和發(fā)光的探測可以在相對于膜層的不同光纖位置進(jìn)行,可以測量鏡面反射、漫反射、傳輸、偏振、干涉、熒光和拉曼散射等??梢岳枚喔饫w同時(shí)監(jiān)測多個(gè)參數(shù),或者在不同的空間位置或掩模條件下同時(shí)測量。

用幾個(gè)適宜結(jié)構(gòu)的光纖探頭,就可以在線監(jiān)測生產(chǎn)的全過程。在一些場合中,可以通過監(jiān)測離子源(如等離子源)的光譜輻射來確定鍍膜過程中的條件效率。

     對于大多數(shù)此類監(jiān)測系統(tǒng)來說都需要專門的實(shí)驗(yàn)布局,我們可以為您提供適合您應(yīng)用的實(shí)驗(yàn)布局,這里僅舉一個(gè)應(yīng)用系統(tǒng)的例子。
      在這里使用一個(gè)反射型光纖探頭來在線監(jiān)測鍍膜生產(chǎn)過程。光纖通過過真空裝置進(jìn)入真空室,然后傳到反射探頭上。反射光經(jīng)過另一個(gè)過真空裝置,進(jìn)入光譜儀的一個(gè)測量通道。反射型探頭可以用SMA接頭拆下。還可以再增加一個(gè)光譜儀通道,用來進(jìn)行參考測量或補(bǔ)償光源本身的波動對測量結(jié)果的影響。

 

光譜儀

AvaSpec-ULS2048(200-1100nm)

軟件

AvaSoft-Full軟件和XLS或PROC應(yīng)用軟件

光源

AvaLight-DH-S-BAL均衡光譜型氘-鹵素?zé)?/p>

光纖探頭

1根FCR-7UV200-2-ME反射型光纖探頭,1根FC-UV600-2光纖和1根FC-UV200-2光纖

過真空裝置

FC-VFT-UV200和FC-VFT-UV600

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